柴田 明 | 福井高専

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概要

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• 柴田 明

  福井工業高等専門学校

• 沖村 邦雄

  東海大学電子工学科

• 沖村 邦雄

  福井高専

• 柴田 明

  福井高専

• 沖村 邦雄

  Tokai Univ. Kanagawa Jpn

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  京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科

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著作論文

• Tetraethoxysilaneを用いたプラズマCVD法における気相分解過程
• Tetraethoxysilaneを用いたプラズマCVD法によって堆積したSiO_2膜の膜中不純物
• TiO_2薄膜堆積用RFマグネトロンスパッタプロセスの気相診断

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