田中 正博 | 新日鐵(株)先端技術研究所半導体基盤研究部

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概要

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• 同名の論文著者
• 新日鐵(株)先端技術研究所半導体基盤研究部の論文著者

関連著者

• 田中 正博

  新日鐵(株)先端技術研究所半導体基盤研究部

• 芳賀 博世

  新日鐵(株)先端技術研究所半導体基盤研究部

• 田中 正博

  ニッテツ電子株式会社製造部製造技術グループ(結晶技術)

• 長谷部 政美

  新日鐵(株)先端技術研究所半導体基盤研究部

• 田中 正博

  新日鉄エレクトロニクス研究所

• 斉藤 信浩

  東海カーボン(株)

• 江坂 久雄

  新日鐵(株)エレクトロニクス研究所

• 岸田 豊

  新日鐵(株)第一技術研究所

著作論文

• ラテンの風に吹かれて(海外 Workshop 初参加記)
• CCD カメラ観察による CZ シリコン融液表面温度の坤塙回転依存性解析( バルク結晶成長の新しいアプローチ)
• CZシリコン融液表面温度のルツボ回転依存性 : 測温, 計算, 直接観察 : バルク成長シンポジウムII
• 28a-ZD-5 CZシリコン融液表面温度分布の直接観察
• CZシリコン融液の不安定現象と温度変動 : シンポジウムII

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