CZシリコン融液表面温度のルツボ回転依存性 : 測温, 計算, 直接観察 : バルク成長シンポジウムII

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1995-07-10

著者

• 田中 正博

  新日鐵(株)先端技術研究所半導体基盤研究部

• 田中 正博

  新日鉄エレクトロニクス研究所

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