28a-ZD-5 CZシリコン融液表面温度分布の直接観察

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概要

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• 1995-03-28

著者

• 田中 正博

  新日鐵(株)先端技術研究所半導体基盤研究部

• 芳賀 博世

  新日鐵(株)先端技術研究所半導体基盤研究部

• 斉藤 信浩

  東海カーボン(株)

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