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長谷部 政美 | 新日鐵(株)先端技術研究所半導体基盤研究部
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関連著者
田中 正博
新日鐵(株)先端技術研究所半導体基盤研究部
長谷部 政美
新日鐵(株)先端技術研究所半導体基盤研究部
芳賀 博世
新日鐵(株)先端技術研究所半導体基盤研究部
著作論文
CCD カメラ観察による CZ シリコン融液表面温度の坤塙回転依存性解析( バルク結晶成長の新しいアプローチ)
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