別府 敏保 | 住友金属工業(株):(現)三菱電機(株)

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概要

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関連著者

• 別府 敏保

  住友金属工業(株):(現)三菱電機(株)

• 渡邉 純二

  熊本大学大学院

• 別府 敏保

  住友金属工業(株)

• 藤田 隆

  住友金属工業(株)

• 稲村 豊四郎

  名古屋工業大学

• 渡邉 純二

  名古屋工業大学

• 酒井 雅夫

  名古屋工業大学

• 滝川 敏二

  住友金属工業(株)製鋼所

• 稲村 豊四郎

  金沢大学工学部

• 渡邉 純二

  熊本大学工学部

• 南川 康夫

  住友金属工業(株)

• 酒井 雅夫

  名工大

• 渡邊 純二

  名工大

• 稲村 豊四郎

  名工大

• 武澤 伸浩

  名工大

• 滝川 敏二

  住友金属工業(株)

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著作論文

• 超LSIプロセスにおける平坦化CMP技術と装置の開発(第1報) : パッドシステムの提案と装置構成
• 層間絶縁膜CMPにおけるIn-situドレッシング技術
• 住友金属工業 CMP装置「SPARKLE」 (特集 半導体工場への本格導入始まるCMP技術) -- (CMP装置編)
• 表面基準ポリシングにおけるパッド構成(第2報) -リテイナー形状精度に与える影響-
• 表面基準ポリシングにおけるパッド構成
• CMP装置の開発 (エレクトロニクス特集)

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