西川 治 | 金沢工業大学 バイオ・化学部 応用化学科
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概要
金沢工業大学 バイオ・化学部 応用化学科 | 論文
- 炭酸エチレンを用いたイオン注入レジストの除去(半導体材料・デバイス)
- ノボラック系ポジ型レジスト中の感光剤量の相違による現像特性(半導体材料・デバイス)
- 直鎖状低密度ポリエチレン(LLDPE)の結晶化度とLLDPE/Ni複合材料の抵抗率-温度特性との関係
- VUV/XUV領域の高次高調波計測のための蛍光体発光特性評価(電子ディスプレイ)
- 超高濃度オゾンガスによるノボラックレジストのアッシング(半導体材料・デバイス)