西川 孝 | ニコン

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概要

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• ニコンの論文著者

ニコン | 論文

• 露光装置の地震対策 : —ソフトランディングによる装置保護—
• 元圧変動フィードフォワード補償の切替えによるハンチングの一抑制法
• ボイスコイルモータを使った除振台の傾斜補正
• 除振装置の加速度センサの補正方法と高帯域化
• 補助タンクを用いた除振台の高性能化

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