野村 康彦 | 光技術研究開発

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概要

• 同名の論文著者
• 光技術研究開発の論文著者

光技術研究開発 | 論文

• 微細凹凸InP基板上へのInGaAs量子細線成長
• AlGaAs/GaAs多重量子細線の作製
• 化合物半導体の真空一貫プロセス
• 真空一貫プロセスによるGaAsのin situ電子ビームリソグラフィ

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