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光技術研究開発 | 論文

• 化合物半導体の真空一貫プロセス
• 真空一貫プロセスによるGaAsのin situ電子ビームリソグラフィ
• AlGaAs/GaAs多重量子細線の作製
• 微細凹凸InP基板上へのInGaAs量子細線成長

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