CHANG L.S. | IBM Research Division

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概要

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• IBM Research Divisionの論文著者

IBM Research Division | 論文

• Full-Wafer Technology for Large-Scale Laser Fabrication and Testing : Micro/nanofabrication and Devices
• Electron Beam Lithography-Tools and Applications : Electron Beam Lithography
• Electron Beam Lithography-Tools and Applications
• Element-Specific Contrast in Scannimg Tunnelimg Microscopy via Resonant Tunneling
• High-K/Metal Gate MOSFETs における新しいレイアウト依存性

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