Full-Wafer Technology for Large-Scale Laser Fabrication and Testing : Micro/nanofabrication and Devices

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概要

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• 社団法人応用物理学会の論文
• 1992-04-30

著者

• Voegeli O.

  Ibm Research Division

• BUCHMANN P.

  IBM Research Division

• BENEDICT M.

  IBM Research Division

• BONA G.L.

  IBM Research Division

• CAHOON N.

  IBM Research Division

• DATWYLER K.

  IBM Research Division

• DIETRICH H.P.

  IBM Research Division

• MOUSER A.

  IBM Research Division

• SEITZ H.

  IBM Research Division

• VETTIGER P.

  IBM Research Division

• WEBB D.J.

  IBM Research Division

• WOLF P.

  IBM Research Division

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