宮武 秀樹 | 東海理化電機製作所

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概要

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• 同名の論文著者
• 東海理化電機製作所の論文著者

東海理化電機製作所 | 論文

• 薄膜PZTを用いた平行平板型 センサ/アクチュエータユニットの作製とジャイロスコープへの応用
• 1307 誘電体ナノ粒子を用いた小型静電容量式傾斜センサの開発(OS5/OS7-1 ライフサポート/マイクロメカトロニクス(1))
• レーザトラップと誘電泳動を用いた一菌体の高速分離システム
• 1A1-C4 水熱法によるマイクロ接触センサ(64. 触覚・力覚)
• 第5回ICPR報告

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