西 謙二 | 沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ

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概要

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• 同名の論文著者
• 沖電気工業(株)超LSI研究開発センタの論文著者

沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ | 論文

• 統合シミュレーションシステムUNISAS-Xの開発
• 低誘電率有機SOG膜のILD適用検討
• 金属電極上に堆積したTa2O5の膜特性
• RFスパッタ法による(Ba, Sr)TiO_3薄膜の結晶性と電気特性
• TEOS-O_3 APCVD SiO_2の成膜機構検討

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