佐藤 伸志 | 株式会社神戸製鋼所技術開発本部

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概要

• 同名の論文著者
• 株式会社神戸製鋼所技術開発本部の論文著者

株式会社神戸製鋼所技術開発本部 | 論文

• Ti合金による自己形成バリアを用いたデュアルダマシンCu配線の特性(配線・実装技術と関連材料技術)
• Cu(Ti)合金微細配線における極薄バリア層の自己組織形成
• Al-Taスパッタ膜におけるTaの固溶・析出の比抵抗および耐ヒロック性への影響
• スパッタリング蒸着法によるAl-Ta-Si合金薄膜の比抵抗に及ぼすSi量の影響
• 溶接における給電電極の摩耗機構

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