角田 匡清 | 東北大学工学研究科電子工学専攻
スポンサーリンク
概要
東北大学工学研究科電子工学専攻 | 論文
- ノンポーラスULK層間膜(フロロカーボン)へのダメージを抑制したCu-CMP後洗浄液の評価(プロセス科学と新プロセス技術)
- 高精度CMP終点検出方法の検討(プロセス科学と新プロセス技術)
- 次世代LSI向け低誘電率絶縁膜/Cuダマシン配線の形成(プロセス科学と新プロセス技術)
- Hcp Co ナノ粒子群の液相合成と磁気特性
- 高保磁力ナノ粒子の化学合成 : 酸化物および金属ナノ粒子について