福原 博篤 | リオン株式会社
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概要
リオン株式会社 | 論文
- 軟X線照射を用いたシリコンマイクロホン電荷蓄積技術の開発(センサーデバイス,MEMS,一般)
- 軟X線照射によるシリコンマイクロホン用エレクトレットの作製
- M5-2 シリコンエレクトレットコンデンサマイクロホンの実現に向けた無機エレクトレット膜および着電技術の開発(M5 アクチュエータ/フィジカルセンサ)
- MNM-3B-7 電荷蓄積型シリコンマイクロホンの試作と特性評価(セッション 3B 情報・精密機器におけるマイクロ・ナノテクノロジー2)
- 7-5 軟X線照射によるシリコンマイクロホン用エレクトレット作製技術の開発(第7部門 センシング&ストレージ)