接合工具を利用した微細接合部の超音波測定 (特集 半導体製造装置における超音波計測)

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概要

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著者

• 里中 忍

  熊本大学

• 上野 一也

  熊本大学大学院:(現)(株)コベルコ科研

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• 418 スポット溶接部の赤外線熱画像に及ぼす電極配置および測定時間の影響
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• 447 サーモグラフィ法を利用したスポット溶接部の測定
• 446 スポット溶接部におけるナゲットおよびコロナボンド部の超音波測定
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• 103 集束探触子による薄膜の超音波探傷試験
• 小径エンドミルの二次元モニタリング計測システムと工具挙動
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• 超音波接合された種々のガラス基板とAlの接合界面組織
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