レーザーアニールにおけるシリコン膜の極短時間溶融・固化現象と膜物性

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• レ-ザ-学会の論文
• 2003-01-15

著者

• 東 清一郎

  セイコーエプソン(株)基盤技術研究所

• 東 清一郎

  セイコーエプソン(株)アクティブデバイス研究室

• 東 清一郎

  セイコーエプソン(株)テクノロジープラットホーム研究所

関連論文

• 多結晶シリコン膜における結晶粒界のデバイスシミュレーション
• 多結晶シリコン膜における結晶粒界のデバイスシミュレーション
• FPD2 : AMLCD(I)(1995年 SID国際シンポジウム報告)
• 1995年SID国際シンポジウム報告 : FPD2: AMLCD(1)
• レーザーアニールにおけるシリコン膜の極短時間溶融・固化現象と膜物性

スポンサーリンク