MEMS-on-LTCC技術を用いた小型チューナブルフィルタ (LSIと高密度実装から見た異種機能集積技術への期待と課題招待論文特集)

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概要

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著者

• 豊田 治

  株式会社富士通研究所

• 上田 知史

  富士通研究所

• ミイ シャオユウ

  富士通:富士通研究所:技術研究組合超先端電子技術開発機構

• 上田 知史

  (株)富士通研究所機能デバイス研究部:技術研究組合超先端電子技術開発機構三次元集積化技術研究部

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