レーザ照射によるオープン故障LSIの論理の固定化

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概要

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不安定な出力論理を有するフローティング･ゲート故障に対して出力論理値を固定化する実験を行った。実験はゲートオープン故障を作り込んだInverter回路に外部からレーザを照射する方式である。その結果、出力論理は“H”固定した。同時にIDD値も変動した。この変動値は正常状態の特性の動作点に一致した。レーザ照射を止めると特性は元の状態に戻った。この現象を検証するためにゲート電極を共通にしたInverter回路の一方側にレーザを照射し他方側の出力を測定した。その結果“H”に固定した。この実験はレーザを照射することで形成される電子がフローティング･ゲート電極へ入り込み電圧を低下させていると考える。単体Trによるレーザ照射実験と合わせてこの現象を述べる。

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