ソース・ドレイン領域に極薄SiNx膜を形成したTFTの温度特性

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概要

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• 兵庫県立大学の論文

著者

• 小林 孝裕

  兵庫県立大学大学院工学研究科

• 栃尾 貴之

  関西大学大学院理工学研究科

• 大倉 健作

  広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所

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