静電発電機構を有するマイクロエアタービンの作製
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2008-09-18
著者
-
内木場 文男
日本大学理工学部
-
内木場 文男
日大
-
内木場 文男
日本大学理工学部精密機械工学科
-
内木場 文男
電通大新形レーザー
-
内木場 文男
Tdk(株)磁性材料事業本部フェライト第一事業部
-
大森 陽介
日大
-
内木場 文男
日本大学
関連論文
- フォトレジストフィルムをレプリカとして用いたエンボス状LTCC電極-絶縁体界面の形成
- リラクサーの基礎と応用
- フォトレジストフィルムによるLTCCグリーンシート上への微細銀導体パターンの形成方法
- 日本大学理工学部 精密機械工学科 内木場研究室(研究室訪問)
- 大学から見た実装技術者の育成について
- レジストフィルムを用いたLTCC微細内部導体の形成方法 (MEMS 2006 第16回マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集)
- Multilayered Low Temperature Cofired Ceramics (LTCC) Technology, 著者 Yoshihiko Imanaka, 出版社 Springer Science+Business Media Inc./USA, 発行年 2005年, ISBN 0-387-23130-7, $129.00
- 金属粉末含有グリーンシートによる金属皮膜の形成
- [TC3] Materials (1)(Report on 2001 ICEP)
- 5a-N-8 コヒーレントラマン分光法によるCH_4のラマン断面積の測定
- 3-215 デジタルエンジニアリングを活用したメカトロ系ものづくり教育の試み(口頭発表論文,オーガナイズドセッション「エンジニアリングデザイン」-IV-デザイン科目研究(2))
- アルミナ-ガラス複合材料と銀内部電極を用いた積層コンデンサーの作製
- 21417 MEMS技術によるミリメートルサイズエアタービンの作製(MEMS,OS.1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS),学術講演)
- 静電発電機構を有するマイクロエアタービンの作製
- 自律型マイクロロボットの開発
- フォトレジストフィルムを用いたLTCCのファインパターニングおよびスルーホールの新たな形成方法 (特集 Low temperature cofired ceramics: LTCC)
- 動作制御にハードウェアニューラルネットワークを用いたMEMSマイクロロボットの開発
- 積層セラミック技術を応用したMEMSマイクロ発電機の開発
- 嗅覚中枢の振動パターンを生成するパルス形ハードウェアニューラルネットワークのIC化に対する検討
- パルス形ハードウェアニューラルネットワークによるMEMSマイクロロボットの歩行動作制御