半導体の薄膜イオン照射によるボイド形成 (京都大学原子炉実験所第42回学術講演会報文集)

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概要

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• 京都大学原子炉実験所の論文

著者

• 新田 紀子

  神戸大工

• 大岡 由佳理

  高知工大工

関連論文

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• 半導体の薄膜イオン照射によるボイド形成 (京都大学原子炉実験所第42回学術講演会報文集)
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