レーザ測長誤差低減のための環境補償技術--環境補正装置の開発と超精密加工機への適用

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概要

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著者

• 足立 和俊

  大阪府産技研

• 山口 勝己

  大阪府産技研

• 岩井 英樹

  豊田工機(株):(現)(株)ジェイテクト

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