研究開発情報 微小光学素子作製用電子線レジストの開発

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• シーエムシー出版の論文
• 2005-04-00

著者

• 佐藤 和郎

  大阪府産技研

関連論文

• 20pPSA-25 BSCCO単結晶dドットのSQUID顕微鏡による磁束分布観察II(20pPSA 領域8ポスターセッション(低温II(Cu,Ru,Mn,Co酸化物など,磁束量子系)),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 21pWF-2 d-dot素子の作成と評価 II(21pWF 磁束量子系II(ジョセフソン接合,トンネル分光),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 25pZG-4 d-dot素子の作成と評価(25pZG 磁束量子系I(ナノ構造・電子状態),領域8(強相関係:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 27aPS-11 d-dotの作製と磁場分布(27aPS 領域8ポスターセッション(低温),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 20aPS-96 FIBによるd-dotの作製と評価(領域8ポスターセッション(低温),領域8(強相関系 : 高温超伝導,強相関f電子系など))
• 27aWF-1 d-ドットの超伝導と磁束分布III(磁束量子系(相図・可視化・電子状態),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 25pPSA-32 d-dot(YBCO-Pb系)の作製と超伝導特性(低温,領域8ポスターセッション,領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 14aRB-12 d-ドットの超伝導と磁束分布 II(磁束系相図・イメージング, 領域 8)
• 28aXB-12 d-ドットの超伝導と磁束分布(磁束量子系(可視化・STM・ダイナミクス))(領域8)
• 26aPS-86 低温強磁場中でのトポロジカル超伝導体の特性(領域8ポスターセッション(低温(Cu,Ru,Mn,Co酸化物など,磁束量子系,鉄系超伝導体)),領域8,強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など)
• 21aWA-9 MgB2超伝導中性子検出素子の応答速度に関する考察(21aWA X線・中性子(X線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
• 21aTC-8 20psパルスレーザ励起によるMgB_2薄膜超伝導素子の高速熱応答の系統的測定(X線・粒子線(中性子),領域10,誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)
• 19aXB-3 MgB_2中性子検出器の熱ダイナミクスのシュミレーションと実験の比較(X線・粒子線(中性子),領域10,誘導体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)
• 23pYK-10 MgB_2中性子検出器VII(23pYK X線・粒子線(中性子),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
• 27pYK-6 MgB_2超伝導検出器の多素子化(X線・粒子線(中性子),領域10,誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)
• 26aPS-81 BSCCO単結晶dドットのSQUID顕微鏡による磁束分布観察(領域8ポスターセッション(低温(Cu,Ru,Mn,Co酸化物など,磁束量子系,鉄系超伝導体)),領域8,強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など)
• 27pPSA-23 イオンミリング法を用いたBSCCO単結晶の微細加工とdドットの作製IV(27pPSA 領域8ポスターセッション(低温I(Cu,Mn,Co,Ru,V酸化物)),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 21aPS-137 イオンミリング法を用いたBSCCO単結晶の微細加工とdドットの作製III(21aPS 領域8ポスターセッション(f電子系等および低温),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 24aPS-111 イオンミリング法を用いたBSCCO単結晶の微細加工とdドットの作製II(24aPS ポスターセッション(低温),領域8(強相関係:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 21aPS-50 イオンミリング法を用いたBSCCO単結晶の微細加工とdドットの作製(領域8ポスターセッション(低温),領域8,強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など)
• 26aYA-2 FIBによるNb微細孔格子の磁場輸送特性(超伝導(渦糸),領域6,金属,超低温,超伝導・密度波)
• 23aQE-13 2バンド超伝導体MgB_2薄膜の上部臨界磁場測定と解析(23aQE 磁束量子系2(THz波発振・ジョセフソン磁束・渦糸相図),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 光学素子作製用ポリシロキサン型電子線レジストの開発(半導体・エレクトロニクス)
• 23aWA-12 超伝導微細孔ネットワークに現れる周期的フラックスジャンプとLittle-Parks効果(電荷密度波・超伝導,領域6,金属,超低温,超伝導・密度波)
• 21aXQ-4 電子線リングラフィーで作製した超伝導微細孔ネットワークにおける異常マッチング効果(超伝導,領域6,金属,超低温,超伝導・密度波)
• 18aRD-6 有限サイズ超伝導ネットワークへの磁束量子ドーピングII(超伝導(渦糸),領域6,金属,超低温,超伝導・密度波)
• 23aZA-4 有限サイズ超伝導ネットワークへの磁束量子ドーピング(23aZA 超伝導,領域6(金属,超低温,超伝導・密度波))
• 27aXF-3 微細加工による超伝導ネットワークの作製と微小磁場中における物性(27aXF 超伝導,領域6(金属,超低温,超伝導・密度波))
• 20aPS-97 有限サイズ超伝導ネットワークの作製と評価(領域8ポスターセッション(低温),領域8(強相関系 : 高温超伝導,強相関f電子系など))
• 25aXL-4 有限系正方格子ネットワークの超伝導と磁束分布(Pb、Nb)(超電導・電荷密度波,領域6(金属,超低音,超電導・密度波))
• 25pPSA-83 蜂の巣格子に現れるフラックスジャンプの周期性(低温,領域8ポスターセッション,領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 12aTM-2 Pb 蜂の巣格子の超伝導と磁束分布 II(超伝導, 領域 6)
• 30pXD-2 MgB_2中性子検出器VI(30pXD X線・粒子線(中性子・粒子線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
• 21aYM-4 MgB_2中性子検出器V(X線・粒子線(中性子),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
• 25aYS-1 MgB_2中性子検出器IV(X線・粒子線(X線),領域10(誘電体, 格子欠陥, X線・粒子線, フォノン物性))
• 12pTJ-8 MgB_2 中性子検出器 III(X 線・粒子線 : X 線・中性子線, 領域 10)
• 21pXB-7 MgB_2 中性子検出器 II
• 26pWQ-4 YBa_2Cu_3O_7薄膜を用いたd-dotの作製(26pWQ 磁束量子系II(ナノ構造・電子状態),領域8(強相関係:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 23pWF-14 PLD法によるYBa_2Cu_3O_7薄膜を用いたdドット素子の作製とその評価(磁束量子系II(銅酸化物),領域8,強相関係:高温超伝導,強相関f電子系など)
• 18aRD-5 FIBを用いて作製した超伝導ネットワークとその評価(I)(超伝導(渦糸),領域6,金属,超低温,超伝導・密度波)
• 12aTM-1 Pb 正方格子ネットワークの超伝導と磁束分布(超伝導, 領域 6)
• 27aYD-8 Pb蜂の巣格子の超伝導と磁束分布(超伝導)(領域6)
• 30pXD-3 MgB_2 中性子検出器 I
• 20aTG-6 超伝導 Nb 微細孔格子のボルテックス観測
• 平板グレーティングレンズを用いた小型分光結像デバイス
• 平板グレーティングレンズを用いた小型分光結像デバイス
• 平板グレーティングレンズを用いた小型分光結像デバイス
• 平板グレーティングレンズを用いた小型分光結像デバイス
• レーザ堆積法を用いたMgドープCuScO_2(0001)薄膜の作製
• 14pRC-5 30T パルスマグネットを用いた MgB_2 薄膜の上部臨界磁場 H 及びその異方性、II(MgB_2 : MgB_2 とその他の超伝導, 領域 8)
• 28aPS-50 30Tパルスマグネットを用いたMgB_2薄膜の上部臨界磁場H_及びその異方性(領域8 ポスターセッション)(領域8)
• 29pUE-13 SQUID顕微鏡の空間解像度改善のための数値的手法の提案(29pUE 磁束量子系(ジョセフソン磁束・SQUID),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 13aPS-40 微細加工サンプルのための SQUID 顕微鏡観察(低温 : 超伝導・金属絶縁体転移, 領域 8)
• 28aPS-53 高温超伝導SQUID顕微鏡II(領域8 ポスターセッション)(領域8)
• 解説 ポリシロキサンネガ型レジストを用いた光学素子--電子線直接描画法による計算機ホログラム(CGH)の作製
• 研究開発情報 微小光学素子作製用電子線レジストの開発

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク