超音波計測 空中超音波を用いたμm領域の変位計測--複数の参照波を導入した位相検出

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概要

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著者

• 西平 守正

  秋田大学工学資源学部電気電子工学科

• 今野 和彦

  秋田大 工学資源

• 佐々木 克浩

  富山県工技セ

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