低周波空中超音波システムを用いた物体の表面形状計測
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概要
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ピンホールを有する円錐型音響プローブを導入した低周波空中超音波システムを構築し, その表面形状計測への応用について述べている.40kHzの空中超音波をその波長λ(≅9mm)より十分小さいピンホールに透過させることで, ピンホール近傍にその直径と同程度のビーム幅を形成している.本システムの方位分解能を評価したところ, 回折限界を超えてλ/30(0.3mm)程度を実現できた.本システムの応用として, サブmm領域の直径の穴, および数μmの段差の検出結果例を示している.この結果, 本システムが物体の表面形状計測に有効であることを明らかにした.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-09-23
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