BDS装置におけるプラズマ密度とスパッタ金属原子のイオン化率の測定

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概要

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著者

• 水野 茂

  三重大学工学部

• 佐藤 英樹

  アネルバ株式会社

• 田口 信一郎

  アネルバ株式会社

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• サマリー・アブストラクト

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