平坦化CMP技術の応用による微小磁気ダマシン (特集1 半導体平坦化CMP技術と他分野応用におけるトライボロジー)

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著者

• 中谷 功

  金属材料技術研究所

• 中谷 功

  NIMS

• 中谷 功

  物材機構

• 中谷 功

  金属材料技術研究所機能特性研究部第3研究室

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