Br2ガスRIEによるInP LD-PD一体化素子 (光集積回路特集)

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概要

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• 電子情報通信学会の論文

著者

• 柴田 淳

  松下電器産業 半導体研セ

• 大仲 清司

  松下電器産業株式会社 中央研究所

• 大仲 清司

  松下電器産業株式会社

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