走査型顕微鏡技術(SPM)を用いた微細加工 (特集 ナノサイエンス・ナノテクノロジーと光化学)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 東京理科大学の論文

著者

• 作原 寿彦

  セイコーインスツルメンツ

関連論文

• SPMによるマイクロ加工(マイクロ加工の最前線)
• マイクロマシン技術を用いた高耐圧マイクロポンプの開発
• 圧電型マイクロモータの開発
• 近視野光のフォトレジスト露光特性
• セイコーインスツルメンツ株基盤技術部
• 走査型顕微鏡技術(SPM)を用いた微細加工 (特集 ナノサイエンス・ナノテクノロジーと光化学)

スポンサーリンク