圧電型マイクロモータの開発

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概要

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• We designed and fabricated a piezoelectric micro-motor which has a new structure suited for miniaturization. The prototype piezoelectric micro-motor we fabricated has 2 mm in diameter and 2 mm in height. It consists of a disk-shaped rotor, a stator with several cantilever-shape oscillators with elements made by PZT ceramies. These elerruents are integrated into the prototype piezoelectric micro-motor in a flat configuration. We can drive the motor with the resonance frequency of the oscillator, and confirmed that the prototype piezoelectric micro-motor achieved over 50 to 450 rpm at a low drive vo1tage of 4 to 20 Vpp.

• 社団法人日本時計学会の論文
• 1998-12-10

著者

• 谷 和夫

  セイコーインスツルメンツ(株)基盤技術部

• 作原 寿彦

  セイコーインスツルメンツ(株)

• 鈴木 瑞明

  セイコーインスツルメンツ(株)基盤技術部

• 前田 英孝

  セイコーインスツルメンツ(株)基盤技術部

• 鈴木 陽子

  セイコーインスツルメンツ(株)基盤技術部

• 作原 寿彦

  セイコーインスツルメンツ

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