Cu/Ti/TiN/Ti積層構造を有する高信頼性Cuダマシン配線 (SPA特集) -- (SPAをささえる個別技術)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る

著者

• 阿部 一英

  沖電気工業株式会社生産センタ

• 時藤 俊一

  沖電気工業株式会社生産センタ

関連論文

• CVD酸化膜の吸湿過程と水の脱離機構
• Cu/Ti/TiN/Ti構造を有するダマシン配線のエレクトロマイグレーション耐性
• Cu/Ti/TiN/Ti積層構造を有する高信頼性Cuダマシン配線 (SPA特集) -- (SPAをささえる個別技術)

スポンサーリンク