低オン抵抗トレンチ横型パワーMOSデバイス技術 (IC特集)

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概要

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• 富士電機の論文

著者

• 杉 祥夫

  富士電機アドバンストテクノロジー(株)半導体研究所

• 澤田 睦美

  富士電機アドバンストテクノロジー(株)半導体研究所

• 藤島 直人

  富士電機アドバンストテクノロジー(株)半導体研究所

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