窒化ガリウム系材料表面の溶液処理と光化学エッチング (特集 電気化学の学際的展開)
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- ED2000-98 GaN関連材料の表面・界面の評価と制御
- GaNおよびAlGaNの表面評価と絶縁ゲート構造(進展する窒化物半導体光・電子デバイスの現状,及び一般)
- GaNおよびAlGaNの表面評価と絶縁ゲート構造(進展する窒化物半導体光・電子デバイスの現状,及び一般)
- 超薄AIO_x膜およびECR-CVD SiN_x膜を用いたAlGaN/GaNヘテロ構造表面の制御
- 窒化ガリウム系材料表面の溶液処理と光化学エッチング (特集 電気化学の学際的展開)