蒸着膜形成・結晶成長技術としてのイオンビ-ムテクノロジ- (荷電ビ-ム--イオンビ-ムとその応用<〔応用物理〕創刊50周年記念特集>) -- (イオンビ-ムテクノロジ-への期待と展望)
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