アンバランスドマグネトロンスパッタリング法により形成したDLC皮膜の特性 (表面技術特集) -- (成膜装置)

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概要

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• 神戸製鋼所の論文

著者

• 赤理 孝一郎

  神戸製鋼所機械カンパニー

• 岩村 栄治

  神戸製鋼所材料研

• 赤理 孝一郎

  神戸製鋼所

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