DLC膜の密着性向上技術
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 日本トライボロジ-学会の論文
- 2002-11-15
著者
関連論文
- 第 1 部 (33) Me-DLC による自動車摺動機構の高機能化
- A-43 UBM スパッタ法による強靱化皮膜の創製
- アンバランスドマグネトロンスパッタリング法により形成したDLC皮膜の特性 (表面技術特集) -- (成膜装置)
- DLC膜の密着性向上技術
- UBMスパッタ法によるDLC膜形成技術とその応用
- AIP法と金属イオン注入法の複合成膜技術 (プラズマ・ビ-ム技術特集)
- AIP/UBMS法によるトライボロジ皮膜の自動車部品への適用 (特集 輸送機用材料・機器技術)