A-43 UBM スパッタ法による強靱化皮膜の創製

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概要

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• The relationships between microstructure and film properties were examined in diamond-like carbon coatings deposited by unbalanced magnetron sputtering. It was found that the DLC microstructure was characterized by features of graphite clusters and played an important role in film hardness. Despite the fact that DLC layers were superhard and contained high internal stresses, amorphous W-C interlayers sufficiently improved adhesion strength to form thick (3∿5μm) DLC coatings. It is presumed that the difference of adhesion strength in hard DLC coatings with W-C and Ti-C interlayers can be attributed to the microstructural differences in the interlayer.

• 社団法人日本機械学会の論文
• 2000-03-29

著者

• 赤理 孝一郎

  神戸製鋼所機械カンパニー

• 岩村 栄治

  神戸製鋼所材料研

• 赤理 孝一郎

  神戸製鋼所

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