2B43 RF マグネトロンスパッタ蒸着法による CaSi_2 配向膜の作成と特性

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概要

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• 日本セラミックス協会の論文
• 1991-05-22

著者

• 服部 信

  米子工高専

• 山中 昭司

  広大工

• 中野 秀之

  広大工

• 服部 信

  広大工

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