CO2パルスレーザによるサファイアウエハの熱応力割断
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概要
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CO2パルスレーザを用いて単結晶のサファイアウエハの熱応力割断を試みている．レーザ割断はサファイアウエハを分断する方法として有力な加工法である．パルスレーザを用いると，割断面には単結晶ウエハに特有な縞模様が形成される．曲線割断が可能であり，円弧状にサファイアウエハを割断できる．ウエハ上に加工された浅い溝の上をCO2パルスレーザでなぞることによって，ウエハを割断できる．
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社団法人 砥粒加工学会 | 論文
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