集束イオンビーム装置によるダイヤモンド加工 第１報：その基本特性と切削用バイトの尖端加工:第１報：その基本特性と切削用バイトの尖端加工
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概要
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集束イオンビーム装置（Focused Ion Beam：FIB）による天然ダイヤモンド加工と，その加工面の鏡面仕上げを目的に基本特性を測定し，最適条件を求めた．(100) (110) (111) の結晶方位を，Ga<SUP>+</SUP> ，30KeV，1.6nA～17nAのビームにより，法線よりの入射角度(θ)を0°～88°まで変化させ，加工レート（Yield：η）を測定した．結晶方位によるηの差は認められず，θ＝0°ではη≅0.08μm<SUP>3</SUP>/nCであった．ηはθを大きくするにつれ徐々に大きくなり87°付近で最大となり，0°の6倍程度である．しかし加工面がθ≅45°～86°程度の範囲では，縞状の凹凸ができ，平滑な加工面ではなく荒れた面となった．加工面が平滑となるのはθ＝0°～40°および，ηが最大値になる87°を超えた値のときであった．この条件では仕上げ加工ができる．またH<SUB>2</SUB>Oガスアシストによる増速エッチング(GAE) の実験を電流量230pAで行なった．その結果，約4倍の増速効果が得られ加工面の縞状の凹凸も少なかった．実用加工速度はガスアシスト無しで，0.14～1.1μm<SUP>3</SUP>/s (1.6～17nA)である．
- 社団法人 砥粒加工学会の論文
社団法人 砥粒加工学会 | 論文
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