ＥＲゲルを用いた電場援用研磨法の開発
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概要
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超精密金型を製作する際の最終工程である研磨加工は熟練技能者の経験に依存しており，技能に依存することなく，切削・研削加工で得た形状精度を損なわず面粗さを向上させる方法が模索されている．これを実現する研磨加工法として，電場や磁場を応用した場援用研磨加工が注目を集めている．本研究では，ER流体を半固体状にしたERゲルを開発し，これを研磨パッドへと応用した新しい研磨加工法を提案した．ERゲルは電界を印加することにより，その表面が滑り特性の高い状態から粘着質な状態に変化する．ERゲル表面に研磨粒子を塗布した研磨パッドと，研磨粒子をERゲルに混入した研磨パッドを試作し，その研磨性能を実験的に解析した．また，静的電場と動的電場を併用した研磨プロセスを提案し，その有効性を調べた．提案したプロセスをステンレス綱の研磨加工に適用した結果，Ra10nm程度の加工面が得られた．
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社団法人 砥粒加工学会 | 論文
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