発泡性水ガラスを用いた高気孔率シリケート砥石の開発
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概要
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シリコンウェーハの粗研削工程等で, 高気孔率のビトリファイド砥石が求められている. ゾルゲル法は均質で高気孔率の砥石を製造できる方法ではあるが, #3000より粗粒の砥石の製造には適用が難しい. そこで, 高気孔率の砥石を製作するために, 発泡性水ガラスを用いた砥石の開発を行った. その結果, 混合する水分量や昇温速度で気孔径を変化できる, 発泡性水ガラスと砥粒の混合比を変化することで砥石の組成を変化できるなどの砥石としての特性が明確になった. また, この砥石を用いてシリコンウェーハのインフィード研削を行った結果, 最適の硬度が存在すること, 湿式状態で結合剤の溶解性を利用することで目づまりのない加工が行えることがわかった.
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社団法人 砥粒加工学会 | 論文
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