飛行時間型二次イオン質量分析法の技術動向
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概要
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ToF-SIMS法はポリマーなどの有機分子表面の評価法として広く活用されてきた．近年においては，ToF-SIMS法はクラスタービームの活用により大幅な検出感度の向上や低損傷な深さ方向分析の実現など，多岐に渡る技術革新がある．本稿ではToF-SIMS法におけるハードウェアーや分析技術の近年におけるめざましい進歩を紹介する．
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The Imaging Society of Japan | 論文
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