プロセシング・プラズマの生成と制御 (広がるプラズマの新しい応用--プラズマ・プロセス-1-)
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概要
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Modelling of the reactive gas discharge plasma has been carried out. Numerical solutions of the relation between particle densities (various ions and radicals) and discharge conditions (gas pressure, gas mixture ratio and electron density) are presented and discussed. The results show that the radical particle densities are always more than one order of magnitude larger than the ion densities. There is an optimum value in gas pressure and gas mixture ratio for producing the free radicals.
- 社団法人 プラズマ・核融合学会の論文
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