プラズマ処理と表面改質
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概要
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The surface plasma treatments for fluorine-containing materials are summarized. The plasma-solid interactions are divided into two groups : the interaction of fluorocarbon polymers such as polytetrafluoroethylene, poly (vinyl fluoride), and poly (vinylidene fluoride) (PVdF) with plasmas of O<SUB>2</SUB>, He, Ar, <I>etc</I>., and the interaction of hydrocarbon polymers such as polyethylene and polypropylene with plasmas of F<SUB>2</SUB>, CF<SUB>4</SUB>, <I>etc</I>.. Particularly, the fluorination of polymers due to the latter interaction and changes caused in the surface properties are described in detail. A difference in the reactivity of PVdF and ethylene-propylene copolymer (EPDM) with CF<SUB>4</SUB> and Ar plasmas is clarified using XPS data.
- 社団法人 日本油化学会の論文
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