PTFEのプラズマスパッタリングを利用した黒鉛表面のフッ素化
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概要
著者
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百瀬 義広
茨城大学 工学部
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井上 和浩
茨城大学 工学部
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西田 達也
日立化成工業(株) 山崎工場(桜川)
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桑島 正樹
茨城大学 工学部
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百瀬 義広
茨城大学工学部
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百瀬 義広
茨城大
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西田 達也
日立化成工業 (株) 山崎工場 (桜川)
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