BCl<SUB>3</SUB>-H<SUB>2</SUB>系におけるレーザー誘起プラズマ反応のエネルギー効率
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概要
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Ultrafine particles of boron were prepared from a mixture of BCl<SUB>3</SUB> and H<SUB>2</SUB> by laser-induced plasma CVD using a TEA-CO<SUB>2</SUB> laser.<BR>Energy efficiency in this case was measured and the highest value was nearly 100 %. The efficiency of this method is defined as the ratio of energy required to induce chemical reaction to that absorbed by the plasma from the laser beam.
- 社団法人 化学工学会の論文
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